国内半导体量测检测设备领域的领先企业东方晶源迈入了发展新阶段，正式开启电子束检测及量测设备的批量交付模式。公司成功向新客户交付了其自主研发的两款核心电子束设备，标志着其产品在性能、稳定性和客户认可度上达到了新的高度，也为国产高端半导体检测仪器设备的产业化与规模化应用注入了强劲动力。
此次交付的两款设备分别是用于芯片制造关键工艺节点的电子束缺陷检测设备（E-beam Inspection）和电子束关键尺寸量测设备（E-beam CD Metrology）。在集成电路制造迈向更先进工艺节点的过程中，晶圆表面的微观缺陷和图形结构的尺寸精度直接影响芯片的良率和性能。传统光学检测技术面临物理极限的挑战，而电子束技术凭借其极高的分辨率，能够实现对纳米乃至亚纳米级缺陷和尺寸的精准探测与测量，已成为28纳米及以下先进制程中不可或缺的检测手段。东方晶源此次交付的设备，正是瞄准这一高端市场需求，展现了国产设备在突破关键技术壁垒方面的坚实进展。
据悉，本次交付的新客户为国内一家重要的晶圆制造厂商。交付过程不仅包括设备的运输与安装，更涵盖了严格的产品验证测试（PVT）和客户现场评估。东方晶源的技术团队与客户密切配合，确保设备在客户产线环境中迅速达到预定技术指标并实现稳定运行。这一成功的交付案例，不仅是一笔订单的完成，更是客户对东方晶源产品技术实力、可靠性与本土化服务能力的深度认可。它意味着公司已打通从研发、试产到批量交付的全链条，商业模式趋于成熟。
东方晶源开启批量交付模式具有多重重要意义。对行业而言，这打破了该领域高端设备长期由国际巨头垄断的局面，为国内芯片制造企业提供了性能优异、服务响应迅速的国产化选择，有助于提升产业链的自主可控能力和供应链安全。对企业自身而言，批量交付意味着产品进入了市场规模化推广的“快车道”，能够通过更多的客户反馈持续迭代优化产品，形成“研发-应用-改进”的良性循环，巩固市场地位。批量交付带来的稳定营收也将反哺公司的后续研发，为攻克更多“卡脖子”技术、拓展产品线提供持续动力。
随着全球半导体产业格局的演变和国内芯片产能的持续扩张，对高端检测量测设备的需求将日益迫切。东方晶源此次成功开启批量交付，只是一个新的起点。公司表示，将持续加大研发投入，深化与上下游企业的合作，致力于为全球半导体产业提供更多高性能、高性价比的检测与量测解决方案，助力中国芯的制造水平不断提升。国产半导体检测仪器设备的崛起之路，正因这样的扎实步伐而愈发清晰可见。
